Proces žíhání destiček

Rychlé tepelné žíhání pro úlevu od pnutí vyžaduje infračervené monitorování vysokých teplot

Tepelné žíhání, klíčová metoda výroby polovodičů, zahrnuje zahřívání destiček na vysoké teploty za účelem modifikace jejich elektrických vlastností a uvolnění napětí v křemíku. Rychlé tepelné zpracování, klíčová součást této metody, je nezbytné pro dosažení aktivace dopantu a opravy krystalu bez významné difúze, čímž se zvyšuje účinnost procesu.

Tepelné žíhání se tradičně provádělo v konvenčních trubkových pecích s odporovým ohřevem v inertním prostředí. Normální teplotní rozsah pro žíhání se pohybuje mezi 900 °C a 1100 °C. Pro žíhání polykrystalického křemíku je spodní hranice rozšířena na přibližně 700 °C. Proces žíhání v peci pro aktivaci příměsí a opravu poškození krystalů může vyžadovat 30 minut při 900 °C.

Rychlé tepelné žíhání (RTA), známé také jako rychlé tepelné zpracování, představuje významný pokrok. Při něm se křemíkové destičky zahřívají na teploty přesahující 1000 °C po dobu několika sekund, po čemž následuje pomalé ochlazování, aby se zabránilo tepelnému šoku a zlomení destičky. Díky těmto informacím budete informováni a budete mít aktuální informace ve svém oboru.

Různá zařízení používají různé metody tepelného zpracování, jako jsou křemenné lampy, indukční ohřev a odporové povlakování.

Optimalizace polovodičových procesů s pyrometry Optris a špičkovou technickou podporou

Optické vlákno CTratio s pasivní snímací hlavou nabízí značné výhody pro instalaci v náročných prostředích. Díky tomu, že elektronika není v dosahu drsných podmínek reaktoru, tato technologie zajišťuje odolnost i dlouhou životnost. Bezkontaktní měřicí systém zabraňuje rušení procesu a eliminuje jakékoli riziko kontaminace. Vzhledem k extrémně vysokým teplotám a potenciálně nebezpečnému prostředí je technologie optických vláken klíčová pro udržení přesného a bezpečného měření teploty.

Pyrometr Optris je spolehlivý a vysoce cenově dostupný, poskytuje přesné a konzistentní teplotní údaje za poloviční cenu oproti konkurenčním produktům. Díky tomu je ekonomickou volbou bez kompromisů ve výkonu. Kratší dodací lhůta pro infračervený senzor navíc umožňuje rychlejší implementační a vývojové cykly. Průběžná technická podpora společnosti Optris zajišťuje rychlé řešení jakýchkoli problémů a umožňuje zákazníkům spolehnout se na její odborné znalosti pro neustálou optimalizaci procesů. Tento komplexní přístup nejen zaručuje okamžitý úspěch, ale také podporuje dlouhodobá partnerství.